导读 欢迎观看本篇文章,小依依来为大家解答以上问题。光刻机用来干嘛,光刻机的工作原理是怎样的很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
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欢迎观看本篇文章,小依依来为大家解答以上问题。光刻机用来干嘛,光刻机的工作原理是怎样的很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 使用。
2、 它是光刻机中芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为几种:用于芯片生产的光刻机;有包装用的光刻机;在LED制造领域也有投影掩模对准器。
3、 用于生产芯片的光刻机是中国半导体设备制造最大的短板。国内晶圆厂所需的高端光刻机完全靠进口。厦门企业此次从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。
4、 工作原理。
5、 光刻机在加工芯片的过程中,通过一系列光源能量和形状控制手段,使光束透过带有电路图的掩模,通过物镜补偿各种光学误差,按比例缩小电路图,映射到硅片上,再用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
6、 一般的光刻工艺要经过硅片表面清洗干燥、打底、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、激光刻蚀等工序。一次光刻后,芯片可以继续胶合和曝光。芯片越复杂,线路图层数越多,要求曝光控制工艺越精确。
本文到此结束,希望对大家有所帮助。
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